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国内首台8英寸PZT压电薄膜设备落户上海智能传感器产业园
01/22
2021年1月19日，国内首台8英寸PZT压电薄膜设备落户上海智能传感器产业园超越摩尔研发中试线，打造基于压电材料的MEMS先进工艺平台。
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