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中科院利用新型纳米森林结构显著提升光电探测器性能
06/25
通过使用等离子体轰击聚合物工艺并结合金属纳米颗粒的磁控溅射工艺，得到了一种对偏振和入射角不敏感的宽谱高吸收复合纳米森林结构，通过将该结构原位集成于MEMS热电堆传感器上实现了器件输出电压的显著提升。
中科院利用纳米森林研发新型湿度传感器
05/25
湿度的监测与控制在气象、农业、汽车、医药等行业具有重要意义。随着MEMS技术的发展，基于MEMS工艺的电容式湿度传感器因其在宽相对湿度范围内具有较好的灵敏度和较好的抗干扰能力而受到广泛关注……
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