通过使用等离子体轰击聚合物工艺并结合金属纳米颗粒的磁控溅射工艺，得到了一种对偏振和入射角不敏感的宽谱高吸收复合纳米森林结构，通过将该结构原位集成于MEMS热电堆传感器上实现了器件输出电压的显著提升。

据媒体报道，欧姆龙电子部件有限公司(Omron Electronic Components，以下简称欧姆龙)为其D6T MEMS热传感器增添了广角32 × 32像素元件，提供了欧姆龙有史以来最宽广的探测视野。