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亚斯特系统推全新自动物料流搬运系统FabEX AMHS
05/23
美商亚斯特系统(Aquest Systems)发表FabEX AMHS的全新技术，在FabEX AMHS系统中可将晶圆盒传输与装载分开作业，提升快速传输效能。
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