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新型光刻技术解决硅材料脆性难题，MEMS机械性能极限有望突破
06/22
据麦姆斯咨询介绍，硅材料从大自然常见的沙子中取材，成本低、产量大，因此被广泛用作MEMS器件的衬底材料，并被誉为信息时代的“骨干”材料。
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