近日，东京工业大学校长益一哉等人与NTT尖端技术公司利用包含多个金属层的积层金属结构，成功开发出具有超低噪声和超高灵敏度的MEMS（微机电系统）加速度传感器。

尽管今年面对国际金融危机的威胁，但由于用户对加速度传感器接受度的增加，MEMS(微机电系统)加速度传感器整体市场保持增长势头。

村田美洲公司宣布推出SCA3300系列三轴MEMS加速度计，适用于工业和汽车应用领域。该产品尺寸为7.6mm*8.6mm*3.3mm。该表面贴装式传感器提供1.5，3或6g的几个测量范围，提供小于10mg的偏移稳定性。该MEMS传感器的非线性为0.1%，噪声密度为37 ug /√Hz，工作温度范围为-40到125摄氏度。