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RFID在半导体制造中的应用
作者:深圳市万全智能技术有限公司
时间:2026-01-30
半导体制造工序精密,对洁净度、可追溯性要求极高,核心物料及载具需全程可控。传统模式存在接触污染晶圆、金属屏蔽信号、数据滞后、追溯断点等痛点,制约产线升级。万全智能RFID技术具备抗金属干扰、非接触识别、耐洁净环境等特性,适配行业标准与自动化需求。
关键词: 半导体 RFID

一、应用背景与核心价值


应用背景:半导体制造工序精密,对洁净度、可追溯性要求极高,核心物料及载具需全程可控。传统模式存在接触污染晶圆、金属屏蔽信号、数据滞后、追溯断点等痛点,制约产线升级。万全智能RFID技术具备抗金属干扰、非接触识别、耐洁净环境等特性,适配行业标准与自动化需求。

核心价值:实现物料载具全流程追溯,打通AMHS数据链路,减少污染,构建全生命周期管控体系,支撑良率优化。


二、核心应用场景落地


1. 晶圆载具RFID赋码:筑牢数字化溯源基础

为FOUP、SMIF载具附着万全智能陶瓷抗金属RFID标签(适配金属外壳,符合洁净标准),绑定载具ID、晶圆批次等核心信息,建档同步至MES系统。标签采用加密与PUF技术防篡改克隆,支持反复擦写,实现晶圆与载具唯一身份绑定。


2. 工序智能管控:精准联动自动化产线

在光刻机等设备端口部署万全智能固定式读写器,非接触读取载具标签,自动校验工艺与参数,预加载程序避免混淆。工序完成后实时写入数据并上传,标记工序状态,使清洗环节错误率大降,追溯时间缩短至分钟级。


3. 仓储与自动化调度:高效协同AMHS系统

存储柜嵌入RFID模块,载具存取自动更新库存,盘点效率大幅提升,误差率低于0.1%。AGV、天车搭载万全智能读写终端,精准定位优化路径,搬运效率提升30%;系统实时调度,对异常载具自动预警。


4. 封装测试与全链路追溯:保障成品质量可控

封装环节为载体贴标,记录芯片型号、测试数据,关联设备信息实现质量追溯。成品出库经RFID通道门核验批次;出现质量问题时,可快速溯源全流程节点,精准定位根源并支撑整改召回。


三、系统架构与核心组件


1. 系统架构

采用三级架构,搭载万全智能工业网关,通过SECS/GEM协议对接多系统。网关过滤数据防干扰(符合CISPR 11标准),可视化看板实时呈现载具轨迹、工序进度等指标,支持远程调度,数据高效流转构建设备协同生态。


2.核心组件


RFID标签:半导体专用抗金属标签(陶瓷/FPC基材),耐腐密封、加密读写,适配载具与洁净环境

读写设备:万全智能读写设备,支持多频段,抗干扰强,读取成功率≥99.9%

自动化协同设备:AMHS系统、智能存储柜等,搭载RFID模块实现无缝联动

软件平台:RFID半导体管理平台,集成赋码、校验、追溯等功能,适配全流程需求


四、万全性能升级再突破

 

VANCH 万全RFID产品已支持Impinj Gen2X 美国英频杰Impinj(全球领先RAIN RFID解决方案商)正式发布Gen2X。 该技术基于RAIN RFID Gen2协议优化,可提升RFID读写器识读速度、距离与准确性。 深圳万全智能(RFID识别产品与解决方案领先企业),专注提供创新高效RFID产品。 其RFID工业识别、一体式、固定式读写器及手持PDA终端,现已支持Gen2X,助力企业深化数智化。


五、万全产品推荐


半导体行业低频读写器 VI-L640

· 半导体制造专用RFID读写器,符合SEMI国际标准,兼容ISO 11784/11785 HDX标准,适配TI/HID玻璃管感应器;

· 支持ModBus RTU/TCP、SECS半导体自动化标准协议,贴合工业规范;

· 适配半导体工序管理RFID应用,为生产管控提供高可靠保障;

· VANCH万全国产专用款,兼容欧姆龙、TI芯片,适配芯片制造及自动化装备,打破进口依赖。


六、联系我们

国内市场部:曹先生 18033057195

国外市场部:罗先生 13691675768


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