RFID（RadioFrequencyIdentification），又称无线射频识别技术，可通过射频信号进行非接触式的识别目标，近些年来被广泛应用在半导体制造业中，用于半导体行业的晶圆存储柜、电子货架、硅晶片清洗、半导体天车等的识别与管理当中。

在半导体制造业中，RFID技术为CST材料搬运AGV小车的运行提供了强有力的支持。通过在AGV小车上安装半导体RFID读写器，可以实现对半导体材料、设备以等的快速、准确识别和跟踪。

将半导体RFID读写器JY-V640安装在工艺搬运设备AGV上，用于读取信息；在CST晶圆盒上安装TI Tag标签，标签内录入CST晶圆盒材料的信息。在工艺设备AGV搬运CST时，半导体RFID读写器会通过无线射频信号识别CST晶圆盒上的TI Tag标签信息，获取所运输CST晶圆盒的信息，并根据TI Tag标签信息中CST晶圆盒材料的种类将其运输到对应的目的地，同时记录下此次运输的时间，并将运输时间、CST晶圆盒种类、运输目的等信息上传到管理系统中，系统根据CST晶圆盒信息对进行生产计划库存管理，实现运输过程中的自动化和智能化。

同时，RFID技术还可以用于对工艺设备AGV搬运的CST晶圆盒材料进行追踪和管理，通过附着在CST晶圆盒材料上的RFID标签，可以轻松地追踪CST晶圆盒材料的位置和状态，从而更好地管理整个生产流程。