rfid技术,简单来说,就是一种自动识别技术,通过无线电波实现对标签信息的读取和写入。而这些标签,就像给物品贴上的小标签,上面存储着它们的身份信息。当标签通过装有RFID读写器的区域时,读写器就能瞬间获取标签上的信息,无需建立机械或光学的直接接触。
在半导体行业,这个技术的重要性不言而喻。半导体制造流程复杂,涉及多个工序和高度洁净的环境。想象一下,一颗小小的芯片,是如何从无到有,经历无数道工序,最终变成我们手中的智能手机、电脑的一部分。这个过程中,RFID技术起着至关重要的作用。
半导体产线应用
RFID标签附着在晶圆盒、载具或其他容器上,记录着晶圆的身份、规格、批次以及经过的每一步生产工艺等关键信息。在生产线的不同节点部署RFID读写器,可以实时追踪晶圆的位置、状态和生产进度,减少人工干预,降低错误率,提高生产效率。还可以将RFID读写器部署在机械手臂,晶圆盒部署RFID载码体,当机械手臂开始工作时,读写器自动采集载码体信息,及时了解是什么产品、如何加工、何时加工,并跟踪晶圆在加工流程中的具体位置,可显著减少晶圆的供应时间,并充分减少该工序的工作量,仓储管理系统将RFID的信息与生产控制系统 (MES) 的信息关联在一起,可实时监测所有晶圆。